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反射膜厚仪

更新时间:2021-03-02

产品品牌:Semiconsoft

产品产地:德国

产品型号:MProbe系列

产品描述:反射膜厚仪是一种非接触式、快速的光学薄膜厚度测量技术。

产品概述

当一束光入射到薄膜表面时,薄膜上表面和下表面的反射光会发生干涉,干涉的发生与薄膜厚度及光学常数等有关,反射光谱薄膜测厚仪就是基于此原理来测量薄膜厚度。

反射膜厚仪是一种非接触式、无损的、快速的光学薄膜厚度测量技术。

测量范围: 1 nm - 1 mm

波长范围: 200 nm -8000 nm

光斑尺寸:2um -3 um

 

标准配置中包含:

1. 主机(光谱仪,光源,电线)

2. 反射光纤

3. 样品台及光纤适配器

4. TFCompanion软件

5. 校准套装

6. 测试样品,200nm晶圆

 

广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中:

半导体晶圆,薄膜太阳能电池,液晶平板,触摸屛,光学镀膜,聚合物薄膜等

半导体制造:· 光刻胶          · 氧化物        · 氮化物

光学镀膜:· 硬涂层          · 抗反射涂层         · 滤波片

生物医学:· 生物膜厚度         · 硝化纤维

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